11月4日,在晶芯半导体(黄石)有限公司(以下简称“晶芯半导体”)无尘车间,工作人员正操作设备对研磨后的晶圆进行抛光处理。
该公司是国内首家晶圆再生工厂,主要对12英寸晶圆制造使用的测试片表面进行处理,将蚀刻上去的电路图、金属等附着物去除,实现回收再生、循环利用,实现了国内晶圆再生进口替代。
“晶圆厂需要大量的陪片、测试片,使用过程中这些片子会产生损伤。”该公司总经理陶盛表示,“我们将这些硅片清洗抛光,重新生成一个12英寸的硅片,既环保又节省资源。”通过循环利用,像中芯国际这样的集成电路厂家,每年可节省数亿元成本。
科技创新是企业发展的不竭动力,日前,在2024年第九届“创客中国”湖北省中小企业创新创业大赛决赛上,该公司的12英寸晶圆再生项目获企业组二等奖。该项目作为集成电路产业链的关键环节,工艺的自主可控对保证本土供应链安全、提高我国集成电路产业竞争力具有重要意义。
“我们始终坚持科技创新,不断满足客户需求。”陶盛介绍,落地黄石时,公司技术路线主要针对国内集成电路40纳米以上应用,就是晶圆再生硅片上的颗粒,不超过40纳米。随着国内集成电路飞速发展,对晶圆再生要求不断提高,2021年,根据客户需求,公司开发出20纳米工艺。到2023年底,不断迭代的中芯国际提出更高要求:19纳米,这是个很大的挑战,研发团队正全力攻关,在现有设备基础上开发新技术。
为更好助力企业发展,2021年9月,晶芯半导体还投资1000万元建设了晶圆再生创新工作室,自成立以来,工作室助力厂内关键的原物料的品质监控,工艺提升,已完成数十家客户对标工作,客户囊括国内已投产80%以上的晶圆厂,为晶芯半导体快速通过客户验证、拿到订单,奠定了坚实的基础。
技术创新为企业发展插上了腾飞的翅膀,今年8月,省科技厅发布2024年拟入库湖北省科创“新物种”企业公示名单,晶芯半导体成功入选“潜在独角兽”企业名单,也是全市今年唯一一家入选该种类的企业。展望未来,陶盛信心满满地表示:“我们将致力于通过高效的生产工艺和优质的再生晶圆产品,为客户在这个日益挑战性的行业中提供更多的价值!”